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我司研发了基于氮化铝压电薄膜(AlN Film)的体声波滤波器,利用现有通用的Si晶圆工艺体系,提出了一整套完全与国际主流企业现有专利体系完全不同的器件结构和器件工艺技术路线。现已申请超三十余项国内专利,已授权十余项,涉外专利也已授权4项(因网站篇幅限制,专利证书未全部上传)。
ZL 2020 1 0093691.X
ZL 2020 1 0679793.X
ZL 2019 1 0801551.0
ZL 2019 1 0927364.7
ZL 2019 1 0967707.2
ZL 2019 1 0977524.9
ZL 2019 1 0978107.6
ZL 2019 1 1014276.4